仪器型号：DENTON VACUUM EXPLORER 14
基本参数：真空度9×10-8pa，坩埚数4，基片最大尺寸4英寸
主要功能：该设备具有各向异性沉积高熔点金属和陶瓷薄膜的功能，可以实现微纳电子器件电极的制备。其最大特点是易于精确控制厚度，沉积过程具有一定的各向异性，有利于降低光刻图形剥离工艺的难度。
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仪器型号：NBM Design PLD180
基本参数：最高温度1200℃
主要功能：PLD方法可以获得拥有热力学理论上准稳定状态的组成和构造的人工合成新材料
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仪器型号：NPGS V9.1
基本参数：最大偏转电压400V，偏转时间50ns。
主要功能：利用电子束在工件面上扫描直接产生图形的装置。
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仪器型号：Cascade M150
基本参数：155mm x 155mm平台，移动精度1μm
主要功能：可应用于RF/微波、器件特性描述、晶圆级可靠性、电测试、建模或良率提升。
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仪器型号：Agilent E5071C
基本参数：频率300 kHz 至 20 GHz
主要功能：用于测试频率范围在 20 GHz 以内的射频元器件和电路。
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仪器型号：Agilent B1500A
基本参数：支持 0.1fA 和 0.5µV 电流－电压（IV）测量
主要功能：在 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V 范围内执行精确的电流-电压（IV）测量，支持点测量、扫描测量、采样和脉冲测量；在 1 kHz 至 5 MHz 频率范围内执行交流电容测量，支持准静态电容-电压（QS-CV）测量；先进的脉冲 IV 测量和超快 IV 测量，最低采样间隔为 5 ns（200 MSa/s）高达 40 V 的高压脉势，适用于非易失存储器测试。
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仪器型号：MSP-620D
基本参数：最高温度800℃
主要功能：可在硅片、塑料、陶瓷、玻璃、石英、Ⅲ-Ⅴ族化合物及金属等材料表面镀制AL、Au、Cr、Ti、Ni、Cu、W、SiO2、各种金属、非金属，单层、多层膜。
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仪器型号：曙光5000
基本参数：160G/32G ，62节点
主要功能：曙光5000是面向网格的高性能计算机，可以为网格提供计算服务，同时也是面向信息服务的超级服务器。
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仪器型号：SCT ES-15CUHV
基本参数：真空度7×10-11Pa
主要功能：
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仪器型号：SCT ES-15CUHV
基本参数：真空度7×10-11Pa
主要功能：
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仪器型号：曙光TC3600
基本参数：500G/4G，62节点
主要功能：聚焦大型数据中心应用，适用于高性能计算应用。
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仪器型号：HKL CHANNEL4.2
基本参数：空间分辨率1um
主要功能：EBSD后处理软件。
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仪器型号：TMTD-10T15a
基本参数：最大中心磁场强度10T，真空炉最高加热温度1100℃，真空度 10-2 Pa
主要功能：磁场处理；磁场热处理
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仪器型号：Mira3LMH
基本参数：1.0nm/30kV
主要功能：可以提供五种观察影像模式；分辨率模式；景深模式；视野模式；大视野模式,Channeling模式。红外线样品室内摄像装置，可以在测量同时观测样品。
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仪器型号：Mira3LMH
基本参数：1.0nm/30kV
主要功能：可以提供五种观察影像模式；分辨率模式；景深模式；视野模式；大视野模式,Channeling模式。红外线样品室内摄像装置，可以在测量同时观测样品。
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仪器型号：BHV-50HTI
基本参数：磁场1.5T/max
主要功能：适用于各种磁性材料：磁性粉末、超导材料、磁性薄膜、各向异性材料、磁记录材料、块状、单晶和液体等材料的测量。可完成磁滞回线、起始磁化曲线、退磁曲线及温度特性曲线、IRM和DCD曲线的测量。
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仪器型号：DE-14
基本参数：10-6Pa
主要功能：真空镀膜。
联系老师：张政军
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仪器型号：PED18
基本参数：230L/S
主要功能：与脉冲激光沉积（PLD）相比，脉冲电子束沉积（PED）技术提供了独一无二的平台，在一系列具有重要技术价值的基片上沉积复杂材料的薄膜，其独特的优点在于扩展了材料的范围和应用。
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仪器型号：IBS-120-2S
基本参数：4000eV/200A/s
主要功能：溅射镀膜。
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仪器型号：GM9
基本参数：200V/50Hz/3P/0.5A
主要功能：磁场处理。
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仪器型号：ANNEALSYS As-ONE 100
基本参数：43A/34kW/50-60Hz
主要功能：RTA (快速热退火)；RTO (快速热氧化)；扩散；接触式退火；化合物半导体退火；氮化；硅化；硒化；硫化；结晶化及致密化。
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仪器型号：ARM
基本参数：80VA/50-60Hz
主要功能：微区光谱测量。表面波或波导等领域的光谱研究。
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仪器型号：Nicolet 6700
基本参数：红外光谱范围：400～4000 cm-1；分辨率 < 0.09cm-1
主要功能：主要用于催化剂的原位吸附性能测试及离位红外吸收光谱测试。
联系老师：吴晓东
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仪器型号：MKS2030
基本参数：光谱分辨率0.5cm-1～128cm-1；采样速流0.2～10升/分；采样压力0.01～4大气压。
主要功能：能够实时在线精确监测除氮气、氧气和氢气外的大多数气体，主要用于各类气相催化反应的精确评价、反应产物分析。
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仪器型号：AutoChem II 2920
基本参数：温度范围 -100 ～1100℃。
主要功能：主要用于脉冲化学吸附，TPR，TPD，TPO和反应过程分析等实验。可以用来分析贵金属分散度, 表面酸度, 活性位强度分布, BET比表面积等。
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仪器型号：IDSpec Aurora J300
基本参数：0.05nm
主要功能：用于表征和探测物质组分、结构。
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仪器型号：FJL-560
基本参数：6.67×10-5Pa
主要功能：具备用离子束制备超薄膜至中厚膜的功能。
联系老师：李正操
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仪器型号：Belsorp-max
基本参数：真空度10-6kPa
主要功能：BELSORP-max是一款高性能容量法比表面、微孔介孔孔隙分析和蒸汽吸附分析仪，在极宽的压力范围内（P/P0=1×10-9～0.997）对被测多孔材料进行吸附/脱附等温线分析，结合AFSM专利自由空间按校准，得到涵盖微孔，介孔孔径分布和比表面积的信息。
联系老师：黄正宏
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仪器型号：PHI5300
基本参数：0.8EV
主要功能：主要用于固体材料表面和界面元素成分与价态结构分析，广泛应用于金属表面处理与防腐处理、金属／聚合物界面粘接、催化剂表面、金属或无机化合物界面层分析、高分子材料表面改性、高分子材料表面老化等领域。
联系老师：张政军
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